Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Жигалина О. М.
   Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с. 104-108. - ISBN 978-5-7038-4743-5.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Изложены основные понятия, относящиеся к науке о строении и свойствах сегнетоэлектрических материалов. Рассмотрены примеры применения и перспективы использования сегнетоэлектрических пленок в интегрированных устройствах современной микроэлектроники, а также основные тенденции развития материалов и технологий в этой области. Подробно рассмотрены вопросы формирования и визуализации структуры многослойных композиций на основе тонких пленок и границ раздела пленка - подложка на атомном уровне с помощью методов электронной микроскопии и моделирования изображений высокого разрешения, а также принципы создания наноструктур в пористых матрицах. Издание иллюстрирует возможности применения методов современного структурного анализа к исследованию и визуализации микро- и наносистем.
Для магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Пособие может быть полезно аспирантам, научным и инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области материаловедения тонкопленочных материалов.

41 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
  6. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345

Похожие издания

Жигалина, О. М. Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учебное пособие / О. М. Жигалина. — Москва : МГТУ им. Баумана, 2017. — 124 с. — ISBN 978-5-7038-4743-5.
ЭБС «Лань»