Личный кабинет
1 запись
Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.:с. 283-286 . - ISBN 5-7325-0001-4 .
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.:
3 экз.
