Оборудование ионной имплантации / Симонов В. В., Корнилов Л. А., Шашелев А. В., Шокин Е. В. - М. : Радио и связь, 1988. - 182 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.179-181. - ISBN 5-256-00007-1.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о технических файлах (cookie).