1 запись
Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318 с., [16] с. фот. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 293-318 . - ISBN 5-7855-0192-9 .