Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318 с., [16] с. фот. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 293-318. - ISBN 5-7855-0192-9.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.