Расширенный поиск

Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие по курсу "Технологические ионно-плазменные установки" : в 2 ч. / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014.
   Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение. - 2014. - 53 с. : ил. - Библиогр.: с. 52-53. - ISBN 978-5-7038-3798-6.