Личный кабинет
1 запись
Чехович Е. К.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Чехович Е. К. ; ред. Пилипович В. А. ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212 с. : рис. - Библиогр.:с. 200-211 . - ISBN 5-343-00087-8 .
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Чехович Е. К. ; ред. Пилипович В. А. ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212 с. : рис. - Библиогр.:
3 экз.
