Личный кабинет
1 запись
Перевощиков В. А., Скупов В. Д.
Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : монография / Перевощиков В. А., Скупов В. Д. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегородского ун-та, 1992. - 196 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 189-196 . - ISBN 5-230-04179-X .
Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : монография / Перевощиков В. А., Скупов В. Д. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегородского ун-та, 1992. - 196 с. : рис., табл. - Библиогр.:
1 экз.
