Личный кабинет
1 запись
Сагателян Г. Р., Сорин Е. А.
Исследование электромагнитного поля плоского спирального индуктора установки плазмохимического травления Caroline PE15 : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Основы проектирования и эксплуатации нанотехнол. оборуд. " : учеб. пособие / Сагателян Г. Р., Сорин Е. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник+, 2026. - 30 с. : ил. - Библиогр.:с.30 . - ISBN 978-5-9973-7413-6 .
Исследование электромагнитного поля плоского спирального индуктора установки плазмохимического травления Caroline PE15 : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Основы проектирования и эксплуатации нанотехнол. оборуд. " : учеб. пособие / Сагателян Г. Р., Сорин Е. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник+, 2026. - 30 с. : ил. - Библиогр.:
2 экз.
