Расширенный поиск

Моро У.
   Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; авт. предисл. к пер. Валиев К. А. ; ред. пер. с англ. Тимеров Р. Х. - М. : Мир, 1990. - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 1 / пер. с англ. Богданов А. Л., Никитаев В. А., Долгаев С. И. [и др.]. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X.

Моро У.
   Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; авт. предисл. к пер. Валиев К. А. ; ред. пер. с англ. Тимеров Р. Х. - М. : Мир, 1990. - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 2 / пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаев В. А. - 1990. - С.614-1239  : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001717-8.