2 записи
Моро У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -ISBN 5-03-001717-8 .
Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-03-001716-X .
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -
Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр.
Моро У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -ISBN 5-03-001717-8 .
Ч. 2. - 1990. - С. 614-1239 : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-03-001717-8 .
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -
Ч. 2. - 1990. - С. 614-1239 : ил. - Библиогр.