Подробное описание документа

Моро У.
   Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. - ISBN 5-03-001717-8.
   Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-03-001716-X.

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
В l-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Предметные рубрики

• Электрография
• Полупроводниковые приборы - Производство
• Интегральные схемы - Травление

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313