Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Очистить
1 запись
   Статья
   Модель и параметры регулярной структуры контактных отверстий в наноразмерных полупроводниковых изделиях / Алиевский В. М., Пятков А. А., Овечкина Е. В., Кадушников Р. М., Хватьков В. В. // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2, № 7-8. - С. 121-127.