Подробное описание документа

   Статья

   Модель и параметры регулярной структуры контактных отверстий в наноразмерных полупроводниковых изделиях / Алиевский В. М., Пятков А. А., Овечкина Е. В., Кадушников Р. М., Хватьков В. В. // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2, № 7-8. - С. 121-127.

УДК

001.891.57:621.3.049.77

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 121-127

   Журнал

   Российские нанотехнологии.
   Т. 2, № 7-8. - 2007.

подробнее