Подробное описание документа

Статья

Модель и параметры регулярной структуры контактных отверстий в наноразмерных полупроводниковых изделиях / Алиевский В. М., Пятков А. А., Овечкина Е. В., Кадушников Р. М., Хватьков В. В. // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2, № 7-8. - С. 121-127.