Личный кабинет
1 запись
Статья
Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Модуль вакуумной ионной подготовки подложек больших размеров для процессов формирования тонких пленок с малыми значениями механических напряжений / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. -С. 243-246 .
Модуль вакуумной ионной подготовки подложек больших размеров для процессов формирования тонких пленок с малыми значениями механических напряжений / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. -
