Личный кабинет
1 запись
Киреев В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справочное руководство / Киреев В. Ю. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с. : ил. - Библиогр.:с. 314-319 . - ISBN 978-5-91559-215-4 .
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справочное руководство / Киреев В. Ю. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с. : ил. - Библиогр.:
10 экз.
