Подробное описание документа

Киреев В. Ю.
   Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справочное руководство / Киреев В. Ю. - Долгопрудный : Интеллект, 2016. - 319 с. : ил. - Библиогр.: с. 314-319. - ISBN 978-5-91559-215-4.

Аннотация

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитоrpафии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

УДК

539.2+621.3.049.77

Предметные рубрики

• Нанотехнологии - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

10 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
6. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345