Расширенный поиск

   Нанотехнологии в микроэлектронике / Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. [и др.] ; ред. Агеев О. А., Коноплев Б. Г. - М. : Наука, 2019. - 511 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-02-040201-0.

Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А.
   Нанотехнологии и микромеханика : учеб. пособие для вузов / Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2013.
   Ч. 6 : Базовые технологические процессы микросистемной техники. - 2013. - 64 с. : ил. - Библиогр.: с. 63. - ISBN 978-5-7038-3729-0.