Подробное описание документа

Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А.
   Нанотехнологии и микромеханика : учеб. пособие для вузов / Потловский К. Г., Скороходов Е. А., Козубняк С. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2013.
   Ч. 6 : Базовые технологические процессы микросистемной техники. - 2013. - 64 с. : ил. - Библиогр.: с. 63. - ISBN 978-5-7038-3729-0.

Читать онлайн Аннотация

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.
Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

УДК

620.3+621.3.049.77

Предметные рубрики

• Нанотехнологии - Учебники и пособия
• Микроэлектроника - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Скороходов Евгений Александрович
• Козубняк Светлана Аркадьевна

Общее кол-во в фондах

20 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313