Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. Разработка МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. - С. 28-34.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.