Подробное описание документа

Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г.
   Разработка МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 1. - С. 28-34.

УДК

621.049.77:001.891.57

Статья опубликована в следующих изданиях