Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Очистить
1 запись
   Статья
Шаповалов В. И.
   Модели реактивного распыления при синтезе тонких пленок соединений / Шаповалов В. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 14-27.