Подробное описание документа

Шаповалов В. И.
   Модели реактивного распыления при синтезе тонких пленок соединений / Шаповалов В. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 14-27.

УДК

621.3:621.37

Статья опубликована в следующих изданиях