Термическое активирование геттеров в технологии производства магнетронов / Полунина А. А., Петров В. С., Ханбеков И. Ф., Ли И. П., Гайдар А. И., Локтев Д. Н. // Известия ВУЗов. Сер. "Электроника". - 2019. - Т. 24, № 4. - С. 370-382.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.