Подробное описание документа

   Термическое активирование геттеров в технологии производства магнетронов / Полунина А. А., Петров В. С., Ханбеков И. Ф., Ли И. П., Гайдар А. И., Локтев Д. Н. // Известия ВУЗов. Сер. "Электроника". - 2019. - Т. 24, № 4. - С. 370-382.

УДК

621.3.032.14 Геттеры

Статья опубликована в следующих изданиях