1 запись
Жигалина О. М.
Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.:с. 104-108 . - ISBN 978-5-7038-4743-5 .
Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: