Личный кабинет
1 запись
Сагателян Г. Р., Пискунова Е. Р.
Моделирование операций шлифования и полирования фотошаблонов интегральных микросхем для нанесения маскирующего покрытия : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Функциональные покрытия в приборостроении" : учеб.-метод. пособие / Сагателян Г. Р., Пискунова Е. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник +, 2026. - 43 с. : ил. - Библиогр.:с.43 . - ISBN 978-5-9973-7426-6 .
Моделирование операций шлифования и полирования фотошаблонов интегральных микросхем для нанесения маскирующего покрытия : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Функциональные покрытия в приборостроении" : учеб.-метод. пособие / Сагателян Г. Р., Пискунова Е. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник +, 2026. - 43 с. : ил. - Библиогр.:
2 экз.
