Подробное описание документа

Сагателян Г. Р., Пискунова Е. Р.
   Моделирование операций шлифования и полирования фотошаблонов интегральных микросхем для нанесения маскирующего покрытия : метод. указ. к выполн. лаб. работы по курсу "Функциональные покрытия в приборостроении" : учеб.-метод. пособие / Сагателян Г. Р., Пискунова Е. Р. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Спутник +, 2026. - 43 с. : ил. - Библиогр.: с.43. - ISBN 978-5-9973-7426-6.

Аннотация

В издании рассмотрены операции шлифовки и полирование ФШ ИМС.
Учебное пособие предназначено в качестве методических указаний студентам, обучающимся по направлению подготовки 28.03.02 Наноинженерия. Приведенные в пособии сведения могут быть использованы в рамках научно-исследовательской работы студентов.
Пособие может быть полезно для аспирантов соответствующего профиля.

УДК

621.3.049.77:621.923

Предметная рубрика

• Интегральные схемы - Производство - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Пискунова Елизавета Романовна

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345