Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем/АН Узбекской ССР. Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - 1989. - 167 с.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.