Подробное описание документа

   Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем/АН Узбекской ССР. Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - 1989. - 167 с.

УДК

621.315.592:669.782

Предметная рубрика

• Кремний - Легирование

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313