Личный кабинет
1 запись
Статья
Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В.
МЭМС-микрофон. Выбор материалов, конструкций и технологии. II. Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона / Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. -С. 27-36 .
МЭМС-микрофон. Выбор материалов, конструкций и технологии. II. Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона / Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. -
