Подробное описание документа

Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В.
   МЭМС-микрофон. Выбор материалов, конструкций и технологии. II. Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона / Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. - С. 27-36.

УДК

621.365.61 Нагрев дугой и методом сопротивления

Статья опубликована в следующих изданиях