Расширенный поиск

Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В.
   Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.: с. 91. - ISBN 978-5-7038-4029-0.