Расширенный поиск

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.: с. 167. - ISBN 978-5-7038-3494-7.