Подробное описание документа

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.: с. 167. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/363831

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/106502

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

УДК

621.52:620.3

Предметные рубрики

• Вакуумная техника - Учебники и пособия
• Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич
• Моисеев Константин Михайлович
• Михайлов Валерий Павлович

Общее кол-во в фондах

100 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 192 с. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Айбукс»

подробнее

Панфилов, Ю. В. Наноинженения : учебное пособие : в 17 книгах / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов. — Москва : МГТУ им. Баумана, 2011 — Книга 3 : Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии — 2011. — 192 с. — ISBN 978-5-7038-3494-7.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Лань»

подробнее