1 запись
Антоненко К. И.
Процессы вакуумной и плазменной обработки материалов : учеб. пособие / Антоненко К. И. ; Национальный исследовательский ун-т "МИЭТ". - М. : МИЭТ, 2012.
Ч. 1 : Теоретические основы. - 2012. - 216 с. : ил. - Библиогр.:с. 214 . - ISBN 978-5-7256-0636-2 .
Процессы вакуумной и плазменной обработки материалов : учеб. пособие / Антоненко К. И. ; Национальный исследовательский ун-т "МИЭТ". - М. : МИЭТ, 2012.
Ч. 1 : Теоретические основы. - 2012. - 216 с. : ил. - Библиогр.: