Подробное описание документа

Антоненко К. И.
   Процессы вакуумной и плазменной обработки материалов : учеб. пособие / Антоненко К. И. ; Национальный исследовательский ун-т "МИЭТ". - М. : МИЭТ, 2012.
   Ч. 1 : Теоретические основы. - 2012. - 216 с. : ил. - Библиогр.: с. 214. - ISBN 978-5-7256-0636-2.

Аннотация

Представлены основные методы получения и измерения вакуума и технологической плазмы. Рассмотрены типы эмиссии электронов из твердого тела, формирование потока электронов, управление их движением и энергией. Приведены ключевые параметры, характеристики и свойства плазмы. Подробно рассмотрены процессы столкновения частиц и механизмы формирования энергетически и химически активной плазмы.
Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники.

УДК

621.793.1+533.9

Предметные рубрики

• Плазменная обработка металлов - Учебники и пособия
• Металлизация в вакууме - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л