Формирование наноструктурированных пленок и слоистых структур иридия и поликластерного алмаза / Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Дзбановский Н. Н., Пащенко П. В., Тимофеев М. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 16-30.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.