Подробное описание документа

Статья

Формирование наноструктурированных пленок и слоистых структур иридия и поликластерного алмаза / Белянин А. Ф., Самойлович М. И., Дзбановский Н. Н., Пащенко П. В., Тимофеев М. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 16-30.