Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Очистить
1 запись
   Статья
Сейсян Р. П.
   ЭУФ-нанолитография как средство производства СБИС и инструмент нанотехнологий / Сейсян Р. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 6. - С. 2-22.