Подробное описание документа

Статья

Сейсян Р. П.
ЭУФ-нанолитография как средство производства СБИС и инструмент нанотехнологий / Сейсян Р. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 6. - С. 2-22.

УДК
776 Фотолитография. Фотографические процессы изготовления печатных форм для плоской печати

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 2-22

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 6. - 2006.

подробнее