Подробное описание документа

Конев В. А.
   Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур/АН БССР. Институт прикладной физики / Конев В. А. - 1989. - 132 с.

В книге изложены результаты теоретических и экспериментальных исследований эллипсометрии миллиметрового диапазона длин волн для неразрушающего контроля диэлектрических структур. Проанализированы поляризационные соотношения для структур «диэлектрический слой в воздухе», «диэлектрический слой на диэлектрической подложке», «диэлектрический слой на металле». Показано, что повышение чувствительности и точности достигается при использовании эллипсометрии в условиях полного внутреннего поражения, изменяющейся частоты и углов падения зондирующего СВЧ сигнала. Описаны методы и устройства измерения эллипсометрических параметров в отражённом и прошедшем излучениях. Приведены схемы устройств, новизна которых защищена 12 авторскими свидетельствами.
Рассчитана на специалистов, работающих в области неразрушающего контроля и прикладных физических проблем, преподавателей, аспирантов, студентов соответствующих специальностей