Подробное описание документа

   Статья

   Влияние пор и нанослоев на изгибную жесткость подвеса кремниевого чувствительного элемента МЭМС / Тимошенков С. П., Зотов С. А., Калугин В. В., Бритков О. М., Рубчиц В. Г., Воротников А. А., Светлов-Прокопьев Е. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 7. - С. 11-16.

УДК

621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 11-16

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 7. - 2006.

подробнее