Подробное описание документа
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 7. - 2006.
1 экз.![]()
Содержание
с. 2-4
Статья в журнале
Балахонова М. Л.
Проблемы реализуемости инновационных проектов в сфере научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок / Балахонова М. Л.
Проблемы реализуемости инновационных проектов в сфере научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок / Балахонова М. Л.
с. 5-10
Статья в журнале
Микрокосмические аппараты и квантовые ключи / Яшин К. Д., Осипович В. С., Золотой С. А., Лацапнев Е. В.
с. 11-16
Статья в журнале
Влияние пор и нанослоев на изгибную жесткость подвеса кремниевого чувствительного элемента МЭМС / Тимошенков С. П., Зотов С. А., Калугин В. В., Бритков О. М., Рубчиц В. Г., Воротников А. А., Светлов-Прокопьев Е. П.
с. 17-21
Статья в журнале
Белоненко М. Б., Сасов А. С.
Динамика поляризации в сегнетоэлектриках типа порядок-беспорядок с релаксационным типом поглощения / Белоненко М. Б., Сасов А. С.
Динамика поляризации в сегнетоэлектриках типа порядок-беспорядок с релаксационным типом поглощения / Белоненко М. Б., Сасов А. С.
с. 21-34
Статья в журнале
Самойлович М. И., Белянин А. Ф.
Формирование наноструктурированных пленок алмазоподобных материалов. часть 1. / Самойлович М. И., Белянин А. Ф.
Формирование наноструктурированных пленок алмазоподобных материалов. часть 1. / Самойлович М. И., Белянин А. Ф.
с. 35-39
Статья в журнале
Криворучко А. В., Тополов В. Ю.
Прогнозирование гидростатического пьезоэлектрического отклика анизотропных 1-3-композитов "сегнетокерамика - полимер" / Криворучко А. В., Тополов В. Ю.
Прогнозирование гидростатического пьезоэлектрического отклика анизотропных 1-3-композитов "сегнетокерамика - полимер" / Криворучко А. В., Тополов В. Ю.
с. 40-42
Статья в журнале
Бутывская М. В.
Химико-механическая полировка как метод активации и восстановления поверхности кремниевых пластин в технологии создания структур "кремний-на-изоляторе" / Бутывская М. В.
Химико-механическая полировка как метод активации и восстановления поверхности кремниевых пластин в технологии создания структур "кремний-на-изоляторе" / Бутывская М. В.
с. 42-44
Статья в журнале
Особенности низко-и инфранизкочастотного диэлектрического отклика тонких пленок BST , изготовленных при различных температурах отжига / Лалетин Р. А., Бурханов А. И., Сигов А. С., Воротилов К. А.
с. 45-48
Статья в журнале
Методы проектирования и калибровки микроэлектронных пьезорезистивных преобразователей ускорения / Галушков А. И., Панкратов О. В., Погалов А. И., Сауров А. Н., Суханов В. С., Угольников С. В.
с. 49-53
Статья в журнале
Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е.
Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности / Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е.
Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности / Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е.
