Подробное описание документа
                   Журнал
            
        
               Нано- и микросистемная техника.
   № 7. - 2006.
        
1 экз.
Содержание
с. 2-4
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Балахонова М. Л.
Проблемы реализуемости инновационных проектов в сфере научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок / Балахонова М. Л.
            
            
        Проблемы реализуемости инновационных проектов в сфере научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок / Балахонова М. Л.
с. 5-10
                            
                       Статья
                
            
            
            
                   Микрокосмические аппараты и квантовые ключи / Яшин К. Д., Осипович В. С., Золотой С. А., Лацапнев Е. В. 
                
            
            
            
        с. 11-16
                            
                       Статья
                
            
            
            
                   Влияние пор и нанослоев на изгибную жесткость подвеса кремниевого чувствительного элемента МЭМС / Тимошенков С. П., Зотов С. А., Калугин В. В., Бритков О. М., Рубчиц В. Г., Воротников А. А., Светлов-Прокопьев Е. П. 
                
            
            
            
        с. 17-21
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Белоненко М. Б.,  Сасов А. С.
Динамика поляризации в сегнетоэлектриках типа порядок-беспорядок с релаксационным типом поглощения / Белоненко М. Б., Сасов А. С.
            
            
        Динамика поляризации в сегнетоэлектриках типа порядок-беспорядок с релаксационным типом поглощения / Белоненко М. Б., Сасов А. С.
с. 21-34
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Самойлович М. И.,  Белянин А. Ф.
Формирование наноструктурированных пленок алмазоподобных материалов. часть 1. / Самойлович М. И., Белянин А. Ф.
            
            
        Формирование наноструктурированных пленок алмазоподобных материалов. часть 1. / Самойлович М. И., Белянин А. Ф.
с. 35-39
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Криворучко А. В.,  Тополов В. Ю.
Прогнозирование гидростатического пьезоэлектрического отклика анизотропных 1-3-композитов "сегнетокерамика - полимер" / Криворучко А. В., Тополов В. Ю.
            
            
        Прогнозирование гидростатического пьезоэлектрического отклика анизотропных 1-3-композитов "сегнетокерамика - полимер" / Криворучко А. В., Тополов В. Ю.
с. 40-42
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Бутывская М. В.
Химико-механическая полировка как метод активации и восстановления поверхности кремниевых пластин в технологии создания структур "кремний-на-изоляторе" / Бутывская М. В.
            
            
        Химико-механическая полировка как метод активации и восстановления поверхности кремниевых пластин в технологии создания структур "кремний-на-изоляторе" / Бутывская М. В.
с. 42-44
                            
                       Статья
                
            
            
            
                   Особенности низко-и инфранизкочастотного диэлектрического отклика тонких пленок BST , изготовленных при различных температурах отжига / Лалетин Р. А., Бурханов А. И., Сигов А. С., Воротилов К. А. 
                
            
            
            
        с. 45-48
                            
                       Статья
                
            
            
            
                   Методы проектирования и калибровки микроэлектронных пьезорезистивных преобразователей ускорения / Галушков А. И., Панкратов О. В., Погалов А. И., Сауров А. Н., Суханов В. С., Угольников С. В. 
                
            
            
            
        с. 49-53
                            
                       Статья
                
            
            
            
                Коноплёв Б. Г.,  Лысенко И. Е.
Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности / Коноплёв Б. Г., Лысенко И. Е.
            
            
        Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности / Коноплёв Б. Г., Лысенко И. Е.
