Подробное описание документа

Бутывская М. В.
   Химико-механическая полировка как метод активации и восстановления поверхности кремниевых пластин в технологии создания структур "кремний-на-изоляторе" / Бутывская М. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 7. - С. 40-42.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях