Подробное описание документа

   Методы проектирования и калибровки микроэлектронных пьезорезистивных преобразователей ускорения / Галушков А. И., Панкратов О. В., Погалов А. И., Сауров А. Н., Суханов В. С., Угольников С. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 7. - С. 45-48.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях