Подробное описание документа
Статья в журнале
Коноплев Б. Г.
Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности / Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 7. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
