Подробное описание документа

Статья

Бутывская М. В.
Создание структур "кремний-на-изоляторе" с использованием имплантации водорода / Бутывская М. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 6. - С. 22-25.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 22-25

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 6. - 2006.

подробнее