Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 6. - 2006.

1 экз.

Содержание

с. 2-22
   Статья
Сейсян Р. П.
   ЭУФ-нанолитография как средство производства СБИС и инструмент нанотехнологий / Сейсян Р. П.
с. 22-25
   Статья
Бутывская М. В.
   Создание структур "кремний-на-изоляторе" с использованием имплантации водорода / Бутывская М. В.
с. 25-31
   Статья
Ковалевский А. А.
   Исследование процесса анизотропного плазмохимического травления пленок диоксида кремния / Ковалевский А. А.
с. 31-33
   Статья
Непочатенко В. А., Кудзин А. Ю.
   Уравнения 90-градусных доменных стенок в системе координат тетрагональной фазы BaTiO3 / Непочатенко В. А., Кудзин А. Ю.
с. 33-36
   Статья
Обухов И. А.
   О температурной зависимости сопротивления металлических квантовых проводов / Обухов И. А.
с. 36-40
   Статья
Рогаткин Ю. Б.
   Вопросы разработки и методология проектирования смешанных СФ-блоков / Рогаткин Ю. Б.
с. 41-43
   Статья
Каштанкин И. А., Гурин Н. Т.
   Температурные характеристики биполярных N-приборов с управляемой вольт-амперной характеристикой / Каштанкин И. А., Гурин Н. Т.
с. 44-47
   Статья
Потягалова А. С., Солтан И. Е., Хапаев М. М.
   Опыт применения редукции паразитных элементов с использованием методов подпространств Крылова / Потягалова А. С., Солтан И. Е., Хапаев М. М.