Подробное описание документа

Ковалевский А. А.
   Исследование процесса анизотропного плазмохимического травления пленок диоксида кремния / Ковалевский А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 6. - С. 25-31.

УДК

533.9 Физика плазмы

Статья опубликована в следующих изданиях