Подробное описание документа

   Статья

Ковалевский А. А.
   Исследование процесса анизотропного плазмохимического травления пленок диоксида кремния / Ковалевский А. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 6. - С. 25-31.

УДК

533.9 Физика плазмы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 25-31

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 6. - 2006.

подробнее