Подробное описание документа
Статья
Мухуров Н. И.
Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -
Мухуров Н. И.
Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -