Подробное описание документа

Мухуров Н. И., Ефремов Г. И.
   Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 57-60.

УДК

621.382.049.77

Статья опубликована в следующих изданиях