2 записи
Статья
Исследование и разработка микроэлектромеханического реле на основе пьезоэлектрических пленок / Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Пузикова Е. В., Сафронов А. Я. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 58-61 .
Статья
Мухуров Н. И., Ефремов Г. И.
Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -С. 57-60 .
Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. -